진공이온코팅기 산업에서 칠러의 역할과 특성

A 냉각기일정한 압력, 일정한 온도, 일정한 흐름을 제공할 수 있는 냉각수 장치입니다. 물탱크에 적당량의 물을 주입한 후 냉동시스템을 통해 물을 냉각시킨 후, 펌프를 이용하여 냉각수를 냉각이 필요한 장비로 이송하는 방식입니다. 냉각수는 장비의 열을 빼앗아 냉각 효과를 얻습니다. 중간주파 장비에 냉각수를 추가하는 이유는 주로 고주파수와 큰 전류 때문입니다. 마그네트론 스퍼터링 타겟을 사용하면 고온이 발생하고 건이 변형되므로 건을 냉각하기 위해 워터 재킷이 필요합니다. 마그네트론 스퍼터링은 코팅 기술 분야에서 가장 뛰어난 성과 중 하나라고 할 수 있습니다. 장점은 우수한 필름-기판 결합력, 높은 스퍼터링 속도, 낮은 기판 온도 상승 및 우수한 장치 안정성입니다. 냉각기는 독립된 물 순환 시스템과 독립된 냉동 시스템을 갖추고 있어 외부 환경에 영향을 받지 않습니다. 이러한 기능이 결합되어 진공 이온 코팅 공정에 대한 안정적인 온도 제어와 고품질 코팅 결과를 제공합니다.

진공 이온 코팅기의 냉각기 기능 및 특성은 다음과 같습니다.

1. 타겟 냉각 : 진공 이온 코팅기의 타겟은 금속 이온을 생성하는 데 사용되지만 코팅 과정에서 많은 열이 발생합니다. 칠러는 순환 냉각 시스템을 통해 타겟을 빠르게 냉각시켜 타겟의 정상 작동 온도를 유지하고 장비 과열로 인한 코팅 품질 저하나 고장을 방지하며 안정적인 이온 출력을 보장합니다.

2. 안정성 제어:냉각기장비의 온도를 안정적으로 제어하여 장비가 정상 작동 온도 범위 내에서 안정적으로 작동하도록 할 수 있습니다. 이는 코팅의 일관성과 안정성을 유지하는 데 도움이 되며 코팅 품질의 일관성과 신뢰성을 향상시킵니다.

3. 고정밀 조정: 냉각수의 작동 매개변수는 냉각수 온도, 유량 및 압력을 포함한 특정 요구 사항에 따라 조정될 수 있습니다. 이를 통해 냉각기는 다양한 코팅 요구 사항에 따라 정밀한 온도 제어를 제공하여 코팅 공정의 안정성과 높은 품질을 보장합니다.

3.에너지 절약: 냉각기의 고효율 냉각 능력과 정밀한 제어 기능으로 에너지 소비를 줄이는 데 도움이 됩니다. 장비의 온도를 효과적으로 제어함으로써 추가적인 에너지 낭비를 줄이고 에너지 활용 효율을 높일 수 있습니다.

5. 환경 보호 성능: 진공 이온 코팅 기계에 냉각기를 적용하면 환경에 대한 부정적인 영향을 줄일 수 있습니다. 냉각을 위해 순환수를 사용하고 물 소비를 줄이며 작동 중 소음과 진동을 줄입니다.

6. 환경 제어 : 진공 이온 코팅기에 냉각기를 적용하면 주변 온도와 습도를 제어하여 좋은 작업 환경을 제공할 수도 있습니다. 적절한 주변 온도와 습도는 진공도를 높이고 불순물과 가스의 영향을 줄이며 코팅 품질을 향상시킬 수 있습니다.

요약하자면,냉각기진공 이온 코팅 기계에서는 냉각 대상, 냉각 기판, 냉각 장비 및 환경 제어와 같은 다양한 측면을 다루며 코팅 공정 중 장비 및 작업물의 온도 제어를 보장하고 코팅 품질 및 생산성을 향상시킵니다.